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製品の詳細
JSM-7200 Fの電子光学系は、日本の電子旗艦機であるJSM-7800 F Primeが採用した浸漬式ショットキー電子銃技術を応用し、標準装備TTLSシステム（Through-The-Lens System）は、高/低加速電圧下でも従来機種よりも空間分解能が大幅に向上した。また、300 nAの最大ビームフローを保証し、高解像度観察と高フラックス分析を両立でき、充実した自動機能と使い易さを持ち、新世代の多機能電界放出走査電子顕微鏡である。
＜特徴＞
JSM-7200 Fの主な特徴は、浸漬型ショットキー電子銃技術を応用した電子光学系、GB（Gentle Beamモード）と各種検出器を用いて低加速電圧下で高分解能観察と信号選択が可能なTTLSシステム（Through−The−Lens System）、電磁場を重ねたハイブリッド対物レンズ。
浸漬型ショットキー電子銃
浸漬型ショットキー電界放出電子銃は日本の電子の特許技術であり、電子銃と低収差集光鏡を最適化することにより、電子銃から放出される電子を有効に利用でき、電子ビーム流が大きくても細いビームスポットを得ることができる。したがって、高フラックス分析（EDS、WDS面分析、EBSD分析など）を実現することができる。
TTLS（through−the−lensシステム）
TTLS（through−the−lensシステム）は、低加速電圧下でGB（Gentle Beamモード）を用いて高分解能観察と信号選択が可能なシステムである。GB（Gentle Beamモード）を用いてサンプルにバイアス電圧を印加することにより、入射電子に減速があり、サンプル中から放出される電子に加速作用があり、低加速電圧（入射電圧）下でも、信号対雑音比の良好な高解像度画像を得ることができる。
また、TTLSに取り付けられたエネルギーフィルタフィルタフィルタフィルタ電圧を利用して、二次電子の検出量を調整することができる。これにより、非常に低い加速電圧の条件下で、高位検出器（UED）を用いて試料の浅い表面からの大角度後方散乱電子のみを取得することができる。フィルタ電圧用UEDで検出されなかった低エネルギー電子は、高位二次電子検出器（USD、オプション）で検出できるため、JSM-7200 Fは二次電子像と後方散乱電子像を同時に取得できる。
ハイブリッド対物レンズ
JSM-7200 Fの対物レンズは、当社が新たに開発したハイブリッドレンズを採用している。
このハイブリッドレンズは、磁気レンズと静電レンズを組み合わせた電磁場重畳型対物レンズであり、従来のout-lens収差よりも小さく、より高い空間分解能を得ることができる。JSM-7200 Fは依然としてout-lensの使いやすさを維持しているので、磁性材料サンプルを観察し、分析することができます。
＜特徴＞
JSM-7200 Fの主な特徴は、浸漬型ショットキー電子銃技術を応用した電子光学系、GB（Gentle Beamモード）と各種検出器を用いて低加速電圧下で高分解能観察と信号選択が可能なTTLSシステム（Through−The−Lens System）、電磁場を重ねたハイブリッド対物レンズ。
浸漬型ショットキー電子銃
浸漬型ショットキー電界放出電子銃は日本の電子の特許技術であり、電子銃と低収差集光鏡を最適化することにより、電子銃から放出される電子を有効に利用でき、電子ビーム流が大きくても細いビームスポットを得ることができる。したがって、高フラックス分析（EDS、WDS面分析、EBSD分析など）を実現することができる。
TTLS（through−the−lensシステム）
TTLS（through−the−lensシステム）は、低加速電圧下でGB（Gentle Beamモード）を用いて高分解能観察と信号選択が可能なシステムである。GB（Gentle Beamモード）を用いてサンプルにバイアス電圧を印加することにより、入射電子に減速があり、サンプル中から放出される電子に加速作用があり、低加速電圧（入射電圧）下でも、信号対雑音比の良好な高解像度画像を得ることができる。
また、TTLSに取り付けられたエネルギーフィルタフィルタフィルタフィルタ電圧を利用して、二次電子の検出量を調整することができる。これにより、非常に低い加速電圧の条件下で、高位検出器（UED）を用いて試料の浅い表面からの大角度後方散乱電子のみを取得することができる。フィルタ電圧用UEDで検出されなかった低エネルギー電子は、高位二次電子検出器（USD、オプション）で検出できるため、JSM-7200 Fは二次電子像と後方散乱電子像を同時に取得できる。
ハイブリッド対物レンズ
JSM-7200 Fの対物レンズは、当社が新たに開発したハイブリッドレンズを採用している。
このハイブリッドレンズは、磁気レンズと静電レンズを組み合わせた電磁場重畳型対物レンズであり、従来のout-lens収差よりも小さく、より高い空間分解能を得ることができる。JSM-7200 Fは依然としてout-lensの使いやすさを維持しているので、磁性材料サンプルを観察し、分析することができます。
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